Manager Business Development Microsystems
SAL MicroFab
Willkommen in der SAL MicroFab, dem größten und modernsten Forschungreinraum Österreichs: Hier werden innovative Ideen aus der Mikro- und Nanotechnologie in marktreife Lösungen verwandelt. Wir beschleunigen den Weg von der Forschung bis zur Anwendung und unterstützen Branchen wie die Automobil-, Gesundheits- und Kommunikationsindustrie durch gemeinsame Entwicklungsprojekte. Innovation startet hier.
Reinraum-Infrastruktur und -kapazitäten
Unsere SAL MicroFab mit einer Fläche von 1.400 m² – bestehend aus zwei Reinräumen – befindet sich am High-Tech Campus Villach. Sie ist speziell für Forschung, Prototyping und die Fertigung kleiner Serien konzipiert und nach dem Zertifizierungsstandard ISO 14644:2015 qualifiziert. Der Reinraumbereich ist auf mikro(opto)elektromechanische Systeme (M(O)EMS) und waferbasierte Zukunftstechnologien spezialisiert und bietet alle Voraussetzungen, um Ideen vom Konzept über das Design bis hin zur fertigen Komponente umzusetzen.
Cleanroom I – Research & Prototyping
Dieser Reinraum ist für die Forschung & Entwicklung von Wafern bis zu 200 mm ausgelegt – ideal für frühe Forschungsphasen und die Entwicklung von Proof-of-Concept-Verfahren. Aktuell bieten wir Folgendes:
- Wet and dry etching
- Thin-film Deposition
- Lithography
- Rapid Thermal Processing
- Advanced metrology
Cleanroom II – Pilot Production & Technology Transfer
Dieser Reinraum befindet sich derzeit im Aufbau und hat das Ziel, die Lücke zwischen Forschung und skalierbarer Produktion zu schließen. Er ist für die halbautomatische Batch-Verarbeitung ausgestattet und eignet sich besonders für Kleinserien, Pilotlinien und industrietaugliche Innovationen. Aktuell bieten wir Folgendes:
- Front-end and back-end fabrication
- M(O)EMS device prototyping
- RF filter production
- Integrated photonics
- Heterogeneous integration
- Advanced wafer-level packaging
KONTAKT
Haben Sie Fragen oder wollen Sie mehr über die SAL MicroFab erfahren?
Kontaktieren Sie uns!
E-Mail
