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Microsystems
Microsystems
Pionierarbeit für die nächste Generation an MEMS & MEMS-Geräten
Im Bereich Microsystems werden Technologien für neuartige mikroelektromechanische Systeme (MEMS) und MEMS-Geräte entwickelt, die über den aktuellen Stand der Technik hinausgehen. In enger Zusammenarbeit mit Industrie- und wissenschaftlichen Partnern treiben wir transformative Lösungen mittels interdisziplinärer Forschung voran – von Innovationen über Proof-of-Concept bis zu Prototypen.
Unsere Forschung umfasst:
- Entwurf, Modellierung und Simulation von MEMS und MEMS-Geräten
- Konzeption und Prototypenherstellung von Mikrosystemen
- Charakterisierung und Test von Materialien, Sensoren und Aktuatoren
Unsere Forschungsbereiche
Thin Film Technologies
Beschichtung von qualitativ hochwertigen Dünnschichten – einschließlich piezoelektrischer, dielektrischer und metallischer Materialien – gepaart mit der Entwicklung von innovativen Schichten, fortgeschrittenen Charakterisierungstechniken und praktischen Anwendungstests in Gerätestrukturen.
Piezoelectric Microsystem Technologies
End-to-End-Entwicklung von piezo-basierten MEMS-Sensoren und -Aktuatoren der nächsten Generation – darunter RF-MEMS, PMUTs, Mikrospiegel und akustische MEMS – vom Konzept zur Realität. Wir kombinieren die Finite Element Modeling, Präzisionsdesign, Mikrofertigung und Tests, um hochmoderne Lösungen zu liefern.
Integrated Photonics Technologies
Vollständige Entwicklung vom Konzept zum Prototypenbau von On-Chip photonikbasierten Sensoren mittels innovativer integrierter Photonik, Meta-Optik und integrierter Opto-Mikrofluidik-Technologien. Wir befassen uns mit Anwendungen in der Fernüberwachung (LiDAR), 3D-Bildgebung, Umweltüberwachung, Telekommunikation und mehr.
Magnetic Microsystem Technologies
Entwicklung von magnetischen Mikrosystemen der nächsten Generation, Sensoren und magnetischen Positions- und Orientierungssystemen. Wir sind spezialisiert auf Design, Herstellung und Prüfung fortgeschrittener magnetischer Sensoren und Geräte – wie AMR-Sensoren und MEMS-integrierten Lösungen – und treiben Innovationen durch den Prototypenbau und die computergestützte Modellierung voran.
Infrastruktur
Um Forschung zu ermöglichen, die über den derzeitigen Stand der Technik hinausgeht, ist eine unterstützende Infrastruktur, die Innovationen und Kollaborationen fördert, unumgänglich. Unser SAL MicroFab und unsere Labore sind mit hochwertigen Geräten ausgestattet, die unsere Expert:innen mit den notwendigen Werkzeugen versorgen, um die Grenzen der Forschung voranzutreiben.
SAL MicroFab
- 1400m² Gesamtfläche
- Überbrückung der Lücke zwischen F&E und Großserienfertigung mit fortgeschrittenem Prototypenbau, der Produktion von Kleinserien und dem Prozesstransfer auf Industrielevel
Magnetics Lab
- Charakterisierung der magnetischen Eigenschaften von weichen und harten magnetischen Materialien sowie 3D-Magnetfeld-Mapping.
- Geräte zur Erzeugung eines Magnetfelds (bis zu 3,5 T), Sensorkalibrierung und zur Aufhebung von Hintergrundfeldern
- Charakterisierung von hochpräzisen magnetischen Encodern sowie von magnetischen Positionierungs- und Orientierungssystemen mit Hilfe von eigens entwickelten Testplattformen
Photonics Lab
- Umfassende Charakterisierungs- und Testmöglichkeiten für optische MEMS, photonische integrierte Schaltungen (PICs), Metaoptik und photonische Sensoren.
- Hochmoderne 3D-Photonik-Fertigung und -Integration von photonischen Komponenten
- Fortschrittliche Infrastruktur einschließlich automatisierter photonischer Sonden und einem Umweltkontrollsystem für die Prüfung von PICs der nächsten Generation
Thin Film Lab
- Charakterisierung der ferro-/piezoelektrischen und dielektrischen Eigenschaften von Oxid- und Nitrid-piezoelektrischen Dünnschichten
- Anwendungsangepasste Wafer-Level-Charakterisierung einschließlich Defekt-, Ausfalls- und Verlässlichkeitsanalyse
- Hochmoderne Charakterisierungsgeräte für die Evaluierung von Material- und Geräteleistung unter realen Bedingungen
Acoustics Lab
- Hochmoderne Geräte für ausführliche Tests: Evaluierung von Leistung und Verlässlichkeit auf Material-, Geräte- und Systemebene
- Verschiedene Anwendungen: unterstützt Forschung und Entwicklung von Sensoren, Aktuatoren, RF-Filtern, Mikrofonen und Ultraschallwandlern
Micro Optics Lab
- Mikrooptische Komponenten- und optische MEMS-Charakterisierung
- Optische Funktion, Wavefront Characterization
- Charakterisierung von Bolometern und anderen Sensoren
- Responsivität, Rauschwerte im niedrigen Frequenzbereich (1/f)
- Prüfstand für Gassensoren
Projekte & Erfolgsgeschichten
Unsere Erfolgsgeschichten sind der Beweis für die Hingabe, die Innovation und die Zusammenarbeit, die uns vorantreiben. Von bahnbrechenden Entdeckungen zu zahlreichen Anwendungen in der Praxis spiegelt jeder Erfolg unser Engagement wider, Wissen voranzutreiben und unsere Partner zu unterstützen, einen Schritt voraus zu sein. Entdecken Sie die neuesten Projekte und Erfolgsgeschichten, die verschiedene Branchen geprägt und bahnbrechende Innovationen hervorgebracht haben.
Kontakt
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